BenchMark 250 主要技術(shù)參數(shù)
XY 精度:E2=(1.8+6L/1000)微米 (E2=(1.0+6L/1000)微米 需高分辨率光柵尺)
Z 精度:E1=(2.0+5L/1000)微米 (E1=(1.2+5L/1000)微米 TTL激光和5倍鏡頭)
英制單位 | 公制單位 | |||||||
測量范圍 | 12" X6"X6" | 300X150x150毫米 | ||||||
尺寸 | 28.3" X30.5"X38.3" | 720X775X873毫米 | ||||||
負(fù)載 | 25kg | |||||||
臺面分辨率 | 0.5um | |||||||
光學(xué) | 雙重放大 (物鏡) | |||||||
低倍 | 0.8 | 1.0 | 2.5 | 5.0 | 10.0 | 25.0 | ||
高倍 | 3.2 | 4.0 | 10.0 | 20.0 | 40.0 | 100.0 | ||
標(biāo)配鏡頭 | 1X | |||||||
可選鏡頭 | 0.8X,2.5X,5X | |||||||
照明 | LED 背光,LED 同軸面光 | |||||||
可選特征 | 多色可編程環(huán)形光 (PRL) | |||||||
Ronchi 柵格自動ju jiao | ||||||||
TTL 激光 | ||||||||
旋轉(zhuǎn)分度工作臺 | ||||||||
